真正引起cvd技术发生突变的是九十年代中期新型mt-cvd（中温化学气相沉积）技术的出现。新型mt-cvd是以含c/n的有机物乙腈（ch）为主要反应气体和ticl4、h2、n2在700～900℃下产生分解、化学反应，生成t的一种新方法，可获得致密纤维状结晶形态的涂层，涂层厚度可达8～10μm。这种涂层结构具有极高的耐磨损性、抗热震性及韧性，并可通过ht-cvd（高温化学气相沉积）

KEYSTONE
执行器 F89U-006DA 气动 转角型 双作用 KEYSTONE
执行机构 F79E-012M
执行机构 F79E-006M  各2
控制开关阀 蝶阀 FIG 9-102/F79E-012M DN125 PN10/16 对夹 气动含双作用气缸 1NO+1NC KEYSTONE    只要执行器跟蝶阀  一整套
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接触器 穆勒 DILM25-01C(24VDC) 个 1
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电机过载保护开关 穆勒 PKZMC-2.5 个 1
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工艺技术在表层沉积上al2o3、tin等抗高温氧化性能好、与被加工材料亲和力小、自润滑性能好的材料。mt-cvd涂层刀片适合于高速、高温、大负荷、干式切削条件下使用，其寿命可比普通涂层刀片提高1倍左右。从目前的发展来看，cvd工艺（包括mt-cvd）主要用于硬质合金车削类刀具的表面涂层，其涂层刀具适合于中型、重型切削的高速粗加工及半精加工，尤其是α-al2o3涂层是目前pvd技术所难以实现的，因此在干式切削加工中，cvd涂层技术仍占有极其重要的地位。